衬底温度对电子辅助增强化学气相沉积金刚石膜的影响

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• 出版年：2008
• 作者：王志军；李红莲；董丽芳；李盼来；尚勇
• 单位1：河北大学物理科学与技术学院
• 出生年：1979
• 学历：硕士
• 语种：中文
• 作者关键词：蒙特卡罗模拟；化学气相沉积；气相过程；衬底温度
• 起始页：76
• 总页数：7
• 经费资助：国家自然科学基金(No. 10647123)；河北大学校内青年基金(2005Q31)
• 刊名：人工晶体学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主办单位：中国硅酸盐学会；晶体生长与材料专业委员会；中材人工晶体研究院
• 主编：余明清
• 电子信箱：bjb@jtxb.cn；jtxbbjb@126.com
• 网址：www.jtxb.cn
• 卷：37
• 期：1
• 期刊索取号：P311.06105
• 核心期刊：中文核心期刊

摘要

本工作采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法，对以CH₄/H₂为源气体的电子助进化学气相沉积(EACVD)金刚石薄膜的气相动力学过程进行了模拟。提出了衬底温度的空间梯度变化模型，研究了衬底温度对EACVD气相过程中的电子群行为以及H₂和CH₄分解过程的影响。结果表明：电子平均温度随着衬底温度的升高而升高；当气压较低时，分解得到的成膜关键粒子H、CH₃数量随衬底温度的增大而减少；而当气压较高时，H、CH₃数目随衬底温度的增大而增大；衬底温度主要改变了衬底表面附近的化学反应动力学过程，从而对薄膜质量产生了决定性的影响。