纳米薄膜界面滑移现象的分子动力学模拟进展
- 出版年：2010
- 作者：马潇均；钟占荣；曹勇；杜如虚
- 单位1：中国科学院香港中文大学深圳先进集成技术研究所
- 单位2：哈尔滨工业大学深圳研究生院
- 出生年：1985
- 学历：硕士生
- 语种：中文
- 作者关键词：纳米薄膜；界面滑移现象；分子动力学
- 起始页：114
- 总页数：6
- 刊名：材料导报
- 是否内版：否
- 刊频：半月刊
- 创刊时间：1987
- 主管单位：重庆西南信息有限公司（原科技部西南信息中心）
- 主办单位：重庆西南信息有限公司
- 主编：张明
- 地址：重庆市渝北区洪湖西路18号
- 邮编：401121
- 电子信箱：mat-rev@163.com；matreved@163.com；maeditor@gmail.com
- 网址：http://www.mat-rev.com
- 卷：24
- 期：5
- 期刊索取号：P822.06 432
- 数据库收录：中文核心期刊；中国科学引文数据库来源期刊；中国科技论文统计源期刊
- 核心期刊：中文核心期刊
摘要
随着先进制造技术的发展，许多精密系统中的薄膜厚度已经接近纳米量级。由于纳米尺度的特殊性，宏观尺度下的界面性质将不再适用，因此探索纳米尺度下的界面性质对于微机电系统（MEMS）甚至纳机电系统（NEMS）中涉及到的润滑薄膜研究具有非常重要的价值。Couette流动作为剪切驱动流动的原形，在研究薄膜界面滑移现象上具有较高的代表性。在总结国内外该方向研究成果的基础上，详细介绍和讨论了纳米尺度薄膜Couette流动的分子动力学方法，总结了现有的滑移现象和规律，并对今后的发展进行了展望。