阴极荧光(CL)和电子束诱导感生电流(EBIC)在材料和半导体器件研究中的应用

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• 作者：曾雄辉黄俊黄凯邱永鑫张锦平王建峰徐科
• 会议时间：2010-10-08
• 关键词：阴极荧光 ; 电子束诱导感生电流 ; 半导体器件
• 作者单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,测试平台电子显微镜实验室,江苏 苏州 215125
• 母体文献：2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会论文集
• 会议名称：2010年全国电子显微学会议暨第八届海峡两岸电子显微学研讨会
• 会议地点：杭州
• 主办单位：中国物理学会
• 语种：chi

摘要

@@阴极荧光(Cathodoluminescence.CL,如图l示)和电子束诱导感生电流(Electron beam inducedcurrent.EBIC)是通常安装在场发射扫描电镜上的两个附件。由于目前场发射扫描电镜的电子束斑尺寸一般在1 ~2 nm,而CL和EBIC正是利用场发射电子枪发出的电子束作为激发源,其空间分辨率可达到纳米量级。