氮化钛基超硬纳米复合工具膜的研究进展

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• 作者：蔡飞张世宏李明喜
• 会议时间：2012-08-01
• 关键词：超硬纳米复合工具膜 ; 氮化钛 ; 退火工艺 ; 涂层技术 ; 力学性能
• 作者单位：安徽工业大学材料科学与工程学院,安徽马鞍山,243002
• 母体文献：第十八届华东六省一市热处理年会论文集
• 会议名称：第十八届华东六省一市热处理年会
• 会议地点：山东莱芜
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

刀具涂层技术是一种新型的纳米表面涂层技术。论述了近年来氮化钛基AlTiN和TiAlSiN超硬纳米复合工具膜的研究进展。首先,讨论了工艺参数对单一TiAlN薄膜的影响,比较了梯度和纳米多层AlTiN薄膜的优点,总结了后处理如退火在调整薄膜应力、结构和性能方面的研究;其次,分析了超硬TiAlSiN纳米复合膜在Si元素固溶机制以及多弧离子镀技术制备超晶格纳米复合膜方面的最新研究进展。最后,展望了氮化钛基超硬纳米复合工具膜未来的研究方向。