表面工艺静电驱动MEMS变形镜关键技术研究

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• 作者：汪为民
• 学科专业：光学工程
• 授予学位：博士
• 学位授予单位：电子科技大学
• 导师姓名：范斌陈泽祥邱传凯
• 学位年度：2015
• 关键词：chi

摘要