高精度MEMS加速度计中欧姆接触工艺研究

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：王超
• 学科专业：精密测量物理
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：华中科技大学
• 导师姓名：涂良成
• 学位年度：2015
• 关键词：chi

摘要