静电悬浮位置控制系统的设计

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• 作者：周扬扬
• 学科专业：计算机应用技术
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：中国科学院空间科学与应用研究中心
• 导师姓名：翟光杰
• 学位年度：2010
• 关键词：chi

摘要