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集成式
MEMS
-FAIMS芯片设计与工艺技术研究
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作者:
王涛龙
学科专业:仪器仪表工程
授予学位:硕士
学位授予单位:中北大学
导师姓名:
梁庭郭文姬
学位年度:2016
关键词:chi
摘要