压电驱动原子力显微镜的运动控制
详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |
  • 作者:许正昕
  • 学科专业:机械电子工程
  • 授予学位:硕士
  • 学位授予单位:西安电子科技大学
  • 导师姓名:苏玉鑫
  • 学位年度:2012
  • 关键词:chi
摘要