专题首页
压电驱动原子力显微镜的运动控制
详细信息
查看全文
|
下载全文
|
推荐本文
|
作者:
许正昕
学科专业:机械电子工程
授予学位:硕士
学位授予单位:西安电子科技大学
导师姓名:
苏玉鑫
学位年度:2012
关键词:chi
摘要