超精密加工表面的白光扫描干涉测量系统研究

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• 作者：张晓杰
• 学科专业：仪器科学与技术
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：天津大学
• 导师姓名：张宏伟
• 学位年度：2013
• 关键词：chi

摘要