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基于潘式压电马达的毫米行程纳米位移台的研究
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作者:
徐胜
学科专业:控制科学与工程
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江理工大学
导师姓名:
陈本永高思田
学位年度:2017
关键词:chi
摘要