高精度点衍射干涉仪球面面形检测系统优化及分析研究

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• 作者：陈晓钰
• 学科专业：光学工程
• 授予学位：博士
• 学位授予单位：浙江大学
• 导师姓名：沈亦兵杨甬英刘东
• 学位年度：2016
• 关键词：chi

摘要