高精度点衍射球面干涉检测技术及系统研究
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  • 作者:王道档
  • 学科专业:光学工程
  • 授予学位:博士
  • 学位授予单位:浙江大学
  • 导师姓名:杨甬英
  • 学位年度:2012
  • 关键词:chi
摘要