基于MEMS技术悬臂梁阵列式脉搏传感器研究

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• 作者：陈静
• 学科专业：微电子学与固体电子学
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：黑龙江大学
• 导师姓名：赵晓锋
• 学位年度：2016
• 关键词：chi

摘要