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MEMS谐振式加速度计频率检测
电路设计
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作者:
张恩杰
学科专业:微电子学与固体电子学
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
导师姓名:
刘晓为
学位年度:2016
关键词:chi
摘要