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基于双光栅干涉的三维位移测量技术研究
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作者:
魏培培
学科专业:仪器仪表工程
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
导师姓名:
刘丽华
学位年度:2015
关键词:chi
摘要