微流量传感器及其在压电泵闭环控制中的应用
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  • 作者:杨晓亚
  • 学科专业:机械电子工程
  • 授予学位:硕士
  • 学位授予单位:哈尔滨工业大学
  • 导师姓名:荣伟彬
  • 学位年度:2009
  • 关键词:chi
摘要