垂直扫描白光干涉测量关键技术的研究及应用

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• 作者：徐海涛
• 学科专业：精密仪器及机械
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：华中科技大学
• 导师姓名：刘晓军卢文龙
• 学位年度：2013
• 关键词：chi

摘要