基于扫描白光干涉法的接触式轮廓测量仪

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• 作者：张玲玲
• 学科专业：精密仪器及机械
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：华中科技大学
• 导师姓名：谢铁邦
• 学位年度：2007
• 关键词：chi

摘要

TH7 TG8