基于PVDF振动梁的扫描探针测量与定位系统研究
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  • 作者:盛秀丽
  • 学科专业:精密仪器及机械
  • 授予学位:硕士
  • 学位授予单位:合肥工业大学
  • 导师姓名:黄强先
  • 学位年度:2011
  • 关键词:chi
摘要