大角度离子注入机垂直扫描机构的设计

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• 作者：胡代群
• 学科专业：机械制造及自动化
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：湘潭大学
• 导师姓名：刘求益
• 学位年度：2007
• 关键词：chi

摘要