自检测扫描探针显微镜系统设计

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• 作者：万耿华
• 学科专业：测试计量技术及仪器
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：合肥工业大学
• 导师姓名：黄强先
• 学位年度：2008
• 关键词：chi

摘要