白光扫描干涉三维表面形貌测量技术的研究

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• 作者：李其德
• 学科专业：精密仪器及机械
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：合肥工业大学
• 导师姓名：卢荣胜
• 学位年度：2008
• 关键词：chi

摘要