等厚干涉仪对大尺寸平面度的数字化测量

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• 作者：高辉
• 学科专业：光学工程
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：南京理工大学
• 导师姓名：王青郑洪义
• 学位年度：2012
• 关键词：chi

摘要