基于压电叠堆的微动扫描平台控制器研制

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• 作者：张文博
• 学科专业：集成电路工程
• 授予学位：硕士
• 学位授予单位：大连理工大学
• 导师姓名：董维杰
• 学位年度：2016
• 关键词：chi

摘要