基于压电叠堆的微动扫描平台控制器研制
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  • 作者:张文博
  • 学科专业:集成电路工程
  • 授予学位:硕士
  • 学位授予单位:大连理工大学
  • 导师姓名:董维杰
  • 学位年度:2016
  • 关键词:chi
摘要