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冶金法去除多晶硅中B杂质的研究
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作者:
张磊
学科专业:材料科学与工程、材料学
授予学位:博士
学位授予单位:大连理工大学
导师姓名:
谭毅许富民
学位年度:2013
关键词:chi
摘要