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1.
基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测
作者：
冷长林
关键词：
微机电系统
;
激光多普勒
;
运动检测
;
模态分析
论文级别：
博士
学位年度：2007
2.
硅微陀螺的设计与仿真
作者：
刘军洁
关键词：
硅微陀螺
;
MEMS技术
;
有限元仿真分析
;
优化设计
;
抗过载能力
;
灵敏度
论文级别：
硕士
学位年度：2010
3.
MEMS微加速度计读出电路设计
作者：
许巧丽
关键词：
微机电系统
;
微加速度计
;
读出电路
;
低噪声前置放大器
;
差动式检测
论文级别：
硕士
学位年度：2010
4.
硅基梳齿式MEMS电容式加速度计的失效与DPA研究
作者：
林宙峰
关键词：
微电子机械系统
;
加速度计
;
失效
;
破坏性物理分析
;
可靠性
论文级别：
硕士
学位年度：2010
5.
电容式微机械陀螺仪的研究
作者：
徐晓强
关键词：
微机械陀螺仪
;
模态分析
;
MEMS工艺
;
性能测试
论文级别：
硕士
学位年度：2010
6.
电容式微机械陀螺电路设计与测试技术
作者：
郭俊敏
关键词：
微机械陀螺
;
驱动电路
;
检测电路
;
裸芯片测试
;
小型化
论文级别：
硕士
学位年度：2010
7.
微惯性传感器信号的自适应处理
作者：
李群英
关键词：
微惯性传感器
;
自适应滤波
;
MATLAB
;
DSP
;
Builder
论文级别：
硕士
学位年度：2010
8.
水平定向钻进钻头信息的测量与传输
作者：
刘春
关键词：
水平定向钻进
;
导向
;
加速度传感器
;
RS-485
论文级别：
硕士
学位年度：2009
9.
电磁式微机械陀螺检测电路设计
作者：
韩磊
关键词：
微机械陀螺
;
检测电路
;
同频干扰
;
测试转台
论文级别：
硕士
学位年度：2008
10.
电磁式微机械陀螺结构设计与工艺研究
作者：
王玮
关键词：
微机械陀螺仪
;
Coriolis效应
;
结构设计
;
MEMS加工工艺
论文级别：
硕士
学位年度：2008
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