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1.压电变形镜控制方法及应用研究
作者：刘莹
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2014
2.多层自适应光学系统中变形镜的研究
作者：吴轶群
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2014
3.表面工艺静电驱动MEMS变形镜关键技术研究
作者：汪为民
授予学位：博士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2015
4.压电厚膜驱动的变形镜技术研究
作者：马剑强
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2012
5.小像差压电变形镜制造技术研究
作者：王丹
授予学位：硕士
学位授予单位：苏州大学
学位年度：2011
6.微液滴驱动连续变形镜镜面仿真及工艺探索
作者：覃加念
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2012
7.基于相移干涉的MEMS变形镜平面度测试系统误差分析与校正
作者：何向同
授予学位：硕士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2009
8.基于PZT厚膜的MEMS微变形镜
作者：许晓慧
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2008
9.大冲程高表面质量MEMS微变形镜实现技术的研究
作者：李开成
授予学位：硕士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2007
10.MEMS微变形镜的系统级建模研究
作者：何洋
授予学位：硕士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2005
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