中图分类法(2)
工业技术(2)
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1.基于三维微触觉测头的纳米坐标测量系统
作者：武志超
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2011
2.MEMS压阻式三维微触觉测头及其在纳米测量机上的应用研究
作者：李源
授予学位：博士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2007
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