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中图分类法(2)
工业技术(2)
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1.
高精度
点衍射干涉
仪球面面形检测系统优化及分析研究
作者:
陈晓钰
关键词:
点衍射干涉
仪
;
球面面形
;
检测系统
;
光路布局
授予学位:博士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2016
2.
高精度点衍射球面干涉检测技术及系统研究
作者:
王道档
关键词:
光学检测
;
点衍射干涉技术
;
针孔点衍射
;
球面测量误差
;
干涉条纹分析
授予学位:博士
学位授予单位:浙江大学
学位年度:2012
1
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