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万方学位论文
”中,
命中:
2
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1.
基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究
作者:
王淑珍
关键词:
超精密表面测量
;
原子力探针扫描
;
白光显微干涉
;
数据融合接触工作方式
;
非线性误差修正
;
纳米驱动系统
;
激光干涉位移计量系统
授予学位:博士
学位授予单位:华中科技大学
学位年度:2010
2.
超磁致微位移
驱动系统
的研究
作者:
李海英
关键词:
微位移驱动
;
定位技术
;
超磁致伸缩材料
;
闭环控制系统
;
磁场结构
授予学位:硕士
学位授予单位:哈尔滨工业大学
学位年度:2006
1
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