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中图分类法(3)
工业技术(2)
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万方学术会议
”中,
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3
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1.
化学刻蚀和
微电铸
联合工艺制备微流控芯片金属模具的研究
作者:
郑文书郭钟宁陈日许俊江树镇梁远标
关键词:
微流控芯片金属模具
;
微电铸
;
化学刻蚀
;
制备工艺
会议时间:2013-10-25
2.
无背板生长工艺
微电铸
均匀性的实验研究
作者:
刘海军杜立群秦江朱神渺
关键词:
无背板生长工艺
;
微电铸
;
周期换向电流
会议时间:2006-09-21
3.
基于SU-8胶过曝光工艺的
微电铸
金结构试验研究
作者:
刘朝剑李寒松曲宁松
关键词:
金材料
;
微细电铸过程
;
光刻胶
;
过曝光光刻工艺
;
溶胀性
会议时间:2011-10-22
1
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