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1.
紫外光刻
法制备图案化的硫化铜薄膜及其光学性能的研究
作者:
卢永娟贾均红
关键词:
硫化铜薄膜
;
化学浴沉积
;
光学性能
;
紫外光刻
;
纳米薄膜
会议时间:2008-04-01
2.
SU-8胶微结构的尺寸公差研究
作者:
秦江杜立群刘冲朱神渺
关键词:
SU-8胶
;
菲涅耳衍射
;
尺寸公差
;
紫外光刻
会议时间:2006-09-21
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