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中图分类法(1)
工业技术(1)
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1.
激光合成波长纳米位移测量干涉仪的非线性误差分析与补偿方法研究
作者:
姚喜国
关键词:
激光干涉
;
合成波长
;
非线性误差
;
空气折射率
;
纳米位移测量
授予学位:硕士
学位授予单位:浙江理工大学
学位年度:2010
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