作者：孙晓伟

关键词：微机电系统 ; 三维动态特性 ; 离面运动测量 ; 频闪成像 ; 相移干涉法 ; 解包裹

授予学位：硕士

学位授予单位：天津大学

学位年度：2014

作者：陈玺

关键词：微机电系统 ; 表面形貌 ; 测量技术 ; 任意步长相移干涉法

授予学位：硕士

学位授予单位：南京师范大学

学位年度：2015

作者：邱巨成

关键词：衍射光栅 ; 扫描干涉光刻 ; 条纹周期 ; 位姿校正 ; 波前测量

授予学位：硕士

学位授予单位：浙江大学

学位年度：2016

作者：范刚

关键词：相移干涉法

授予学位：硕士

学位授予单位：桂林电子科技大学

学位年度：2010-01-01

作者：张琳

关键词：三维表面形貌 ; 白光干涉 ; 相移干涉法 ; 高斯滤波 ; 仿真实验 ; 参数测量

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨理工大学

学位年度：2010

作者：王海珊

关键词：干涉显微法 ; 光学干涉 ; 表面形貌测量 ; 相移干涉法 ; 数学模型 ; 微纳结构 ; 干涉显微镜

授予学位：博士

学位授予单位：华中科技大学

学位年度：2008

作者：何向同

关键词：相移干涉 ; MEMS ; 微机电系统 ; 光学干涉测试 ; 变形镜 ; 平面度测试 ; 系统误差

授予学位：硕士

学位授予单位：中国科学技术大学

学位年度：2009

作者：朱健军

关键词：表面三维微观形貌测量 ; 参数评定 ; 相移干涉术

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨理工大学

学位年度：2008

作者：陈家凤

关键词：自适应光学系统 ; 微机电系统变形反射镜 ; 特性测试仪 ; 相位解缠算法 ; 物理模型

授予学位：博士

学位授予单位：华中科技大学

学位年度：2008

作者：李朝辉

关键词：相移干涉 ; 相位提取算法 ; 相位解包裹算法 ; 压电陶瓷微位移器 ; 微表面三维形貌测试系统 ; 微表面轮廓测量

授予学位：博士

学位授予单位：天津大学

学位年度：2004-06-01