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工业技术(4)
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万方学位论文
”中，
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4
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1.
表面工艺静电驱动MEMS变形镜关键技术研究
作者：
汪为民
关键词：
变形反射镜
;
静电驱动器
;
表面质量
;
自适应光学系统
;
物理模型
授予学位：博士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2015
2.
纳米级MEMS定位平台的驱动与控制方法研究
作者：
房增华
关键词：
纳米级定位平台
;
控制器
;
积分分离式PID控制
;
梳齿静电驱动
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工程大学
学位年度：2011
3.
基于新型MEMS传感器的地震波采集系统
作者：
王威
关键词：
微机电系统加速度计
;
检测电路
;
数据采集
;
地震勘探
;
相敏解调
;
加速度传感器
授予学位：硕士
学位授予单位：杭州电子科技大学
学位年度：2011
4.
微机械陀螺的动力学特性研究
作者：
朱二辉
关键词：
微机械陀螺
;
动力学特性
;
有限元模拟
;
带宽特性
授予学位：硕士
学位授予单位：西安理工大学
学位年度：2006
1
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