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中图分类法(3)
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CNKI学位论文
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1.
采用指数加权平均控制器的半导体生产过程的稳定性与性能分析
作者:
艾兵
关键词:
指数加权平均
;
批间控制
;
测量时延
;
单一产品制程
;
混合产品制程
论文级别:
博士
学位年度:2012
2.
半导体/TFT-LCD制程统计建模与
批间控制
研究
作者:
盛碧琦
关键词:
虚拟测量
;
批间控制
;
多元统计分析
;
EWMA
;
性能匹配
论文级别:
博士
学位年度:2012
3.
基于变权值EWMA的混和产品
批间控制
方法研究
作者:
侯明阳
关键词:
批间控制
;
指数加权平均移动
;
基于机台控制
;
基于产品控制
;
变折扣因子
论文级别:
硕士
学位年度:2008
1
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