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1.
双频容性耦合等离子体中电子无碰撞反弹共振加热
作者：
刘永新
关键词：
双频容性耦合等离子体
;
低气压
;
反弹共振加热
;
电正性放电
;
电负性放电
论文级别：
博士
学位年度：2013
2.
空间等离子体探测中粒子谱仪读出电子学方法的研究
作者：
秦熙
关键词：
空间等离子体
;
静电分析仪
;
读出电子学
;
飞行时间测量
;
时间数字转换
;
时间内插
;
温度漂移
论文级别：
博士
学位年度：2013
3.
高压复合绝缘子闪络过程及其诊断方法研究
作者：
胡大伟
关键词：
线路悬式绝缘子
;
不明闪络
;
长间隙放电
;
紫外成像
;
等离子体诊断
;
闪络前状态诊断
论文级别：
博士
学位年度：2013
4.
硅基薄膜高速沉积过程中的等离子体特性研究
作者：
许盛之
关键词：
硅基薄膜
;
等离子体增强化学气相沉积
;
等离子体诊断
;
朗缪尔探针
;
电压-电流探针
;
四极杆质谱仪
论文级别：
博士
学位年度：2012
5.
双频容性耦合等离子体特性的实验研究
作者：
袁强华
关键词：
双频容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
发射光谱
;
质谱
论文级别：
博士
学位年度：2009
6.
中低纬顶部电离层O~+场向扩散通量研究
作者：
陈光明
关键词：
顶部电离层
;
扩散通量
;
掩星
;
非相干散射雷达
;
电子密度
;
大气密度
论文级别：
博士
学位年度：2009
7.
射频等离子体放电及材料处理研究
作者：
金成刚
关键词：
射频等离子体
;
离子束
;
等离子体诊断
;
等离子体与材料相互作用
;
纳米材料
论文级别：
博士
学位年度：2014
8.
PVD和CVD过程中等离子体物理特性混合模拟及实验研究
作者：
吕少波
关键词：
波尔兹曼方程
;
流体动力学模型
;
MC模型
;
混合模型
;
容性耦合等离子体
;
朗缪尔探针
;
法拉第探针
;
法拉第离子能量分析器
论文级别：
博士
学位年度：2010
9.
NbN薄膜的制备及等离子体诊断
作者：
王金刚
关键词：
氮化铌
;
薄膜
;
朗缪尔探针
;
发射光谱
;
偏压
论文级别：
硕士
学位年度：2004
10.
ICP等离子体增强化学气相沉积制备纳米粉体氮化硅特性研究
作者：
赵文锋
关键词：
Si_3N_4
;
纳米粉末
;
ICP
;
等离子体密度
论文级别：
硕士
学位年度：2004
1
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