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中图分类法(2)
数理科学和化学(1)
工业技术(2)
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CNKI学位论文
”中,
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2
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1.
X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究
作者:
董晓浩
论文级别:
博士
学位年度:2007
2.
大口径衍射光学元件的离子束刻蚀及相关问题的研究
作者:
周小为
关键词:
束流密度均匀性
;
脉冲压缩光栅
;
衍射效率
;
刻蚀图形转移
;
等离子体灰化
论文级别:
博士
学位年度:2010
1
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