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1.
大气常压等离子体弧清洗理论与关键技术研究
作者:
孟建兵
关键词:
大气常压
;
等离子体弧清洗
;
金属零件
;
表面质量
论文级别:
博士
学位年度:2009
2.
激光去除金属氧化物的机理与应用基础研究
作者:
佟艳群
关键词:
激光去除
;
金属氧化物
;
激光诱导等离子体
;
表面质量
;
正交试验方法
论文级别:
博士
学位年度:2014
3.
脉冲激光除漆的理论模型、数值计算与应用研究
作者:
施曙东
关键词:
激光清洗
;
激光除漆
;
高斯激光
;
平顶激光
;
热应变
;
热致振动
论文级别:
博士
学位年度:2012
4.
光阴极微波电子枪调试及驱动激光整形技术研究
作者:
何志刚
关键词:
自由电子激光
;
光阴极微波电子枪
;
高功率测试
;
束流品质
;
驱动激光
;
波前整形
;
横向整形
;
纵向整形
;
椭球体整形
;
在线清洗
论文级别:
博士
学位年度:2011
5.
超急速爆发沸腾汽泡形核分子动力学研究
作者:
邹玉
关键词:
分子动力学
;
爆发沸腾
;
汽泡形核
;
半导体薄膜
;
飞秒激光
论文级别:
博士
学位年度:2011
6.
固体微颗粒粘附与清除的机理及表面保洁技术的研究
作者:
李明
关键词:
固体微颗粒
;
粘附
;
机理
;
表面防尘
;
力学模型
;
清除技术
论文级别:
博士
学位年度:2010
7.
亚表面缺陷和杂质诱导光增强的模拟及其检测和控制研究
作者:
章春来
关键词:
熔石英
;
亚表面划痕
;
损伤修复坑
;
时域有限差分
;
污染物
论文级别:
博士
学位年度:2012
8.
超光滑光学基片表面
激光清洗
的机理和试验研究
作者:
徐传义
关键词:
激光清洗
;
超光滑表面
;
光学基片
;
污染微粒
论文级别:
硕士
学位年度:2002
9.
微电子器件硅衬底表面污染物去除技术的研究
作者:
李薇薇
关键词:
ULSI
;
清洗
;
有机碱
;
渗透剂
;
表面活性剂
;
超声波清洗
论文级别:
硕士
学位年度:2003
10.
甚大规模集成电路铜布线工艺中化学机械抛光技术的研究
作者:
王弘英
关键词:
ULSI
铜 ;
多层布线
;
CMP
;
抛光液
论文级别:
硕士
学位年度:2002
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