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1.
BCN薄膜的制备与研究
作者：
毕凯
关键词：
BCN薄膜
;
磁控溅射
;
附着性能
;
摩擦学性能
;
第一性原理计算
论文级别：
博士
学位年度：2013
2.
掺氮类金刚石薄膜的制备及其结构与光电性质研究
作者：
陈海平
关键词：
掺氮类金刚石薄膜
;
直流磁控溅射
;
氮气
;
非晶态
;
光学带隙
;
电阻
论文级别：
硕士
学位年度：2009
3.
等离子体增强化学气相沉积
类金刚石薄膜的研究
作者：
朱立强
关键词：
等离子体增强化学气相沉积
;
类金刚石薄膜
;
电感耦合
;
介质阻挡
论文级别：
硕士
学位年度：2008
4.
脉冲激光沉积Pr~(3+)掺杂SrTiO_3和CaTiO_3薄膜发光性能研究
作者：
王伟
关键词：
射频磁控溅射
;
ZnO薄膜
;
透射率
;
光学带隙
;
PL谱
论文级别：
硕士
学位年度：2009
5.
大气压介质阻挡放电聚合沉积氟碳有机纳米晶的研究
作者：
何涛
关键词：
大气压介质阻挡放电
;
等离子体聚合
;
放电特性
;
氟碳纳米晶
论文级别：
硕士
学位年度：2008
6.
类金刚石薄膜的性能及结构的研究
作者：
吴鹏
关键词：
类金刚石薄膜
;
掺杂
;
热稳定性
;
微观结构
论文级别：
硕士
学位年度：2009
7.
H13钢表面PN+PVD复合处理的工艺及性能研究
作者：
邓敏
关键词：
离子渗氮
;
PVD
;
PN+TiN复合膜
;
显微硬度
;
结合力
论文级别：
硕士
学位年度：2009
8.
泵体柱塞表面涂层技术研究
作者：
蔡言凯
关键词：
活塞轴
;
类金刚石膜
;
rf-PECVD
;
过渡层
论文级别：
硕士
学位年度：2009
9.
n型SiCN薄膜的制备及其欧姆接触特性研究
作者：
钱燕妮
关键词：
n型SiCN薄膜
;
磷掺杂
;
欧姆接触
;
比接触电阻率
论文级别：
硕士
学位年度：2009
10.
PECVD制备玻璃态SiO_2薄膜技术研究
作者：
孙钰林
关键词：
等离子体增强化学气相沉积
;
二氧化硅
;
沉积
;
正硅酸乙酯
论文级别：
硕士
学位年度：2009
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