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中图分类法(14)
数理科学和化学(1)
工业技术(13)
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CNKI学位论文
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1.
脉冲电化学微细加工关键技术研究
作者：
朱保国
关键词：
微细电化学加工
;
纳秒级脉冲电源
;
电解车削加工
;
微细电极
;
微三维结构
论文级别：
博士
学位年度：2007
2.
微细电解铣削加工技术的基础研究
作者：
刘勇
关键词：
微细电解铣削加工
;
微米尺度
;
控制与检测系统
;
微多阶柱状电极
;
微球头电极
;
微槽
;
微三维结构
论文级别：
博士
学位年度：2010
3.
约束刻蚀剂层技术
用于砷化镓三维规整细微图形的复制加工
作者：
黄海苟
关键词：
微系统
;
约束刻蚀剂层技术
;
三维微加工
;
电化学
论文级别：
硕士
学位年度：2001
4.
用于半导体和金属表面三维微/纳结构制备的新型电化学加工方法及其应用
作者：
张力
关键词：
约束刻蚀剂层技术
;
电化学湿印章技术
;
半导体
;
金属
;
微光学元件
;
细胞阵列
论文级别：
博士
学位年度：2008
5.
基于化学
约束刻蚀剂层技术
的铜表面加工研究
作者：
李哲
关键词：铜 ;
化学刻蚀
;
约束刻蚀剂层技术
;
集成电路
;
精密加工
论文级别：
硕士
学位年度：2012
6.
约束刻蚀剂层技术
（CELT）用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究
作者：
蒋利民
关键词：
约束刻蚀剂层技术
;
微纳米结构
;
三维微加工
;
微机电系统
;
金属
论文级别：
博士
学位年度：2007
7.
微细电解加工实验研究
作者：
王明环
关键词：
微细电解加工
;
加工间隙
;
微细电极
;
微细群孔阵列
;
竹节孔冷却通道
论文级别：
博士
学位年度：2007
8.
复杂形状微孔的电解加工试验研究
作者：
谢岩甫
关键词：
电解加工
;
微细电极制备
;
微细加工
;
复杂形状
;
微孔
论文级别：
硕士
学位年度：2011
9.
基于阴极周期往复运动的微细电解加工试验研究
作者：
邱中军
关键词：
微细电解加工
;
加工精度
;
往复运动
;
微细电极
;
侧壁绝缘
论文级别：
硕士
学位年度：2009
10.
UV-LIGA和微细电火花加工技术组合制造三维金属微结构的研究
作者：
莫顺培
关键词：
三维金属微结构
;
UV-LIGA
;
微细电火花加工
;
表面粗糙度
论文级别：
硕士
学位年度：2009
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