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1.
MEMS压阻式三维微触觉测头及其在
纳米
测量机上的应用研究
作者：
李源
关键词：
微触觉测头
;
三维几何量测量
;
压阻式
;
微机电系统
;
纳米
测量机
论文级别：
博士
学位年度：2007
2.
柔性测量臂测头半径补偿算法及平衡机构研究
作者：
许克凤
关键词：
逆向工程
;
柔性测量臂
;
数学模型
;
参数标定
;
接触式测量
;
平衡机构
;
测头半径补偿
论文级别：
硕士
学位年度：2007
3.
圆度误差测量中的多尺度算法研究
作者：
谢海峰
关键词：
多尺度分析
;
小波变换
;
卡尔曼滤波
;
圆度误差
论文级别：
硕士
学位年度：2009
4.
二维光学内反射微小角度传感器的优化设计
作者：
江宁川
关键词：
小角度测量
;
光学内反射
;
调制解调
;
半导体激光器
;
优化设计
论文级别：
硕士
学位年度：2008
5.
小型光学非球面精密检测技术研究
作者：
刘古今
关键词：
非球面
;
面形检测
;
误差补偿
论文级别：
硕士
学位年度：2008
6.
三
坐标测量机
运动控制系统设计与仿真
作者：
陈洪波
关键词：
三
坐标测量机
;
运动控制
;
运动控制系统
;
静压气浮导轨
;
仿真
论文级别：
硕士
学位年度：2008
7.
MEMS压阻式微接触测头测试校准系统的研究
作者：
赵大博
关键词：
微/
纳米
测量
;
坐标测量机
;
微机电系统
;
传感器
;
压阻效应
;
接触式测头
;
校准
论文级别：
硕士
学位年度：2007
8.
三
坐标测量机
运动控制系统研究
作者：
齐永利
关键词：
三
坐标测量机
;
运动控制
;
PID
;
算法
;
多轴同步
论文级别：
硕士
学位年度：2007
9.
关节臂式三坐标测量系统数学模型及标定技术的研究
作者：
王斌
关键词：
关节臂
;
三
坐标测量机
;
数学模型
;
复合球坐标
;
标定
;
遗传算法
论文级别：
硕士
学位年度：2007
10.
基于信号调制的二维微小角度传感器的设计
作者：
陈庆
关键词：
二维角度测量
;
半导体激光器
;
调制
;
解调
论文级别：
硕士
学位年度：2007
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