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中图分类法(1)
工业技术(1)
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1.
碳化硅宽带隙半导体薄膜的异质外延生长技术及其结构性质分析
作者:
张永华
关键词:
碳化硅
;
蓝宝石复合衬底
;
异质外延
;
结构
论文级别:
硕士
学位年度:2002
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