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中图分类法(5)
工业技术(5)
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1.
相移干涉仪仿真分析及模块化设计研究
作者：
齐思璐
关键词：
相移干涉仪
;
四步移相法
;
模块化设计
;
平面度计量
;
标准平晶
;
研磨面平尺
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2016
2.
子孔径拼接中系统误差修正方法的研究
作者：
周游
关键词：
光学元件
;
子孔径拼接
;
系统误差
;
修正方法
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2013
3.
等厚干涉仪对大尺寸平面度的数字化测量
作者：
高辉
关键词：
等厚干涉仪
;
平面度测量
;
数字化测量
;
干涉条纹图像
;
图像处理
;
不确定度
授予学位：硕士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2012
4.
φ600mm近红外相移斐索干涉仪校准及测试技术研究
作者：
刘兆栋
关键词：
光学测量
;
激光干涉仪
;
准直波前
;
光路校准
授予学位：博士
学位授予单位：南京理工大学
学位年度：2011
5.
测量盲小孔和狭槽的光纤接触式测头的研究
作者：
罗震
关键词：
柔性测杆
;
五自由度调整
;
主面前移
;
边缘提取
;
亚像素细分
;
耦合误差
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2001-01-01
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