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中图分类法(3)
工业技术(3)
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1.
硅基微驱动器
的建模与分析
作者:
山磊
关键词:
硅基微驱动器
;
纵横弯曲
;
静电驱动
;
动态特性
授予学位:硕士
学位授予单位:西安电子科技大学
学位年度:2013
2.
硅基微驱动器
的建模与分析
作者:
山磊
关键词:
MEMS
;
微驱动器
;
纵横弯曲
;
静电驱动
;
动态特性
授予学位:硕士
学位授予单位:西安电子科技大学
学位年度:2013
3.
新型复合结构电热
微驱动器
作者:
曾文光
关键词:
电热
微驱动器
;
微机电系统
;
复合结构
;
非
硅基
三维微加工
;
V型梁
授予学位:硕士
学位授予单位:上海交通大学
学位年度:2008
1
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