作者：王一翔

关键词：氮化铝 ; 加速度计 ; 谐振器 ; 工艺流程 ; 有限元仿真

授予学位：硕士

学位授予单位：浙江大学

学位年度：2017

作者：郑蓉

关键词：大地测量 ; 卫星定位 ; MEMS惯导 ; 误差修复

授予学位：硕士

学位授予单位：西南交通大学

学位年度：2017

作者：申晓青

关键词：数字检波器 ; 地质勘探 ; 电路设计 ; MEMS传感器

授予学位：硕士

学位授予单位：重庆大学

学位年度：2016

作者：童姣叶

关键词：MEMS加速度计 ; 噪声分析 ; 相关性 ; 去噪算法 ; 小波分解

授予学位：硕士

学位授予单位：电子科技大学

学位年度：2016

作者：陈静

关键词：脉搏传感器 ; 悬臂梁阵列 ; MEMS技术 ; 扩散电阻

授予学位：硕士

学位授予单位：黑龙江大学

学位年度：2016

作者：彭水燃

授予学位：硕士

学位授予单位：厦门大学

学位年度：2017

作者：张文瑞

授予学位：硕士

学位授予单位：中北大学

学位年度：2017

作者：刘莹

关键词：轨迹分段线性化 ; MEMS器件 ; 热电耦合 ; 非线性宏建模

授予学位：博士

学位授予单位：西北工业大学

学位年度：2015

作者：王涛龙

关键词：场不对称波形 ; 离子迁移谱仪 ; 物质分析仪 ; 微电子机械系统 ; 传感器芯片 ; 光刻掩膜版图

授予学位：硕士

学位授予单位：中北大学

学位年度：2016

作者：齐厚博

关键词：惯性冲击器 ; 微电机系统技术 ; 气溶胶过滤 ; 收集效率

授予学位：硕士

学位授予单位：华北电力大学(北京)

学位年度：2016