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中图分类法(1)
工业技术(1)
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万方学位论文
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1.
面向纳米压印光刻设备的精密定位工作台的设计方法与实验
作者:
贾晓辉
关键词:
柔性机构
;
压印光刻
;
运动学建模
;
静刚度分析
;
动力学分析
;
误差建模
;
精密定位工作台
授予学位:博士
学位授予单位:天津大学
学位年度:2010
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