作者：王红婷

关键词：显微成像系统 ; 两步法 ; 三维成像 ; 中介层散射 ; 曲面光学元件

授予学位：博士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2016

作者：刘辰光

关键词：共焦测量仪器 ; 结构设计 ; 中介层散射 ; 轴向响应特性

授予学位：博士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2016

作者：王宇航

关键词：三维微结构 ; 微纳米尺度 ; 探测器 ; 差动共焦显微测量 ; 空间平移变换

授予学位：博士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2016

作者：杨金霖

关键词：波长调制 ; 干涉测量 ; 偏振光谱 ; 温度控制 ; 相位跟踪

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2015

作者：杨睿韬

关键词：外差双光学频率梳 ; 多波长干涉测距 ; 距离测量不确定度

授予学位：博士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2015

作者：孙世豹

关键词：共焦显微 ; 降噪算法 ; 调制传递函数 ; 图像复原

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2015

作者：刁晓飞

关键词：外差激光干涉测量 ; 非线性误差 ; 高速测量 ; 空间分离

授予学位：博士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2014

作者：王睿

关键词：差动共焦显微技术 ; 计量特性 ; 空间移相 ; 直边成像 ; 畸变校正

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2013

作者：陆叶盛

关键词：恒温气浴装置 ; 激光干涉仪 ; 光刻机 ; 温度控制 ; PID算法 ; 参数整定

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2013

作者：朱凡

关键词：激光自准直技术 ; 光束漂移 ; 测量方法 ; 同步补偿 ; 光线追迹法 ; 动力学模型

授予学位：博士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2013